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本設備是鈣鈦礦液涂布-真空-老化一體化設備。采用直線電機驅動載臺運動，狹縫式涂布系統(tǒng)上下運動，在載臺上的ITO/FTO導電玻璃平板上在一定距離進行精密涂布成形，在涂布后進入真空腔進行快速真空干燥成形鈣鈦礦膜片。

　　技術要求和參數(shù)：

　　1.1 適用基板尺寸：**可放置300mm×300mm的基材，帶真空吸附載臺；

　　1.2 基板類型：ITO/FTO導電玻璃平板；

　　2.1.1 涂布：日本制高精密產品用不銹鋼涂布頭；

　　2.1.2  **涂布面積300×300mm；

　　2.1.3 涂頭高度可設定范圍 0-50mm；

　　2.1.4  Z軸分辨率：0.0001mm；Y軸分辨率：0.001mm

　　2.1.7 采用無接觸檢測方式，涂頭與平臺平面的平行度使用千分頭設置調整。（可選配電機調整方式）

　　2.1.8  涂頭墊片厚度：0.05\0.08\0.1mm(可以定制)

　　2.2.1 供液泵：精密微量泵；

　　2.3.1帶有預涂、涂頭封合及余液收集功能；

　　平臺材料：精密大理石平臺；

　　傳輸裝置：Y 軸和Z 軸的自動控制和定位，重復精度≤2μm；

　　平臺運動方式：采用無接觸的直驅電機驅動，無摩擦，穩(wěn)定性好。

　　載臺采用特種合金材料或大理石；平整度：≤5μm；

　　玻璃基板固定方式：真空吸附；

　　配有涂后真空干燥腔。

　　配有涂后老化加熱功能

　　機體結構采用封閉腔體，可隔離揮發(fā)氣體和控制環(huán)境

　　操作系統(tǒng)采用工業(yè)控制系統(tǒng)控制；可實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集和統(tǒng)計功能。