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主要技術(shù)指標(biāo)

Main Technical Index

• 晶棒直徑

  Φ350~Φ600mm

  切割進(jìn)給速度

  5～20mm/min

• 晶棒材質(zhì)

  單晶硅

  冷卻水流量

  <300L/h

• 晶棒長度

  200～1500mm

  壓空用量

  <60m3/h

• 晶棒平行度

  ≤0.5mm

  排水連接孔徑

  <Φ100mm

• 晶棒加工崩邊

  ≤5mm

  設(shè)備外形尺寸(長寬高)

  3800×1900×3150mm(長×寬×高)

• 切割表面質(zhì)量

  Ra≤10μm

  設(shè)備重量

  6t

• 環(huán)形線直徑

  ≤0.65mm

  設(shè)備功率

  380V 7kW

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

Machine tool edge

1、不同規(guī)格硅棒切換靈活，滿足直徑Φ350-600圓棒切割 ;

2、大裝載量，硅棒*長切割長度1500mm ;

3、硅棒支撐是采用粘料的形式以及浮動(dòng)氣缸輔助支撐，可以保證截?cái)嗟谋肋吜?;

4、**可以50m/s 線速穩(wěn)定切割，保證切割質(zhì)量 ;

5、環(huán)線切割表面質(zhì)量好 ;

6、環(huán)線張力由伺服電機(jī)控制，張力大小可調(diào) ;

7、主動(dòng)輪、張力輪以及從動(dòng)輪都有連接氣動(dòng)潤滑，即保證內(nèi)部的密封性，又保證了充分的潤滑，大大提高了軸承的使用壽命 ;

8、設(shè)備床身為焊接件，焊接后回火加工，剛性好，性能穩(wěn)定可靠 ;