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冷凍傳輸解決方案
FIB冷凍制樣系統(tǒng)示意圖
FIB冷凍制樣系統(tǒng)參數(shù)
?獨(dú)立控制系統(tǒng)
?獨(dú)立真空系統(tǒng)
?高匹配360°(無(wú)限)旋轉(zhuǎn)冷臺(tái)
?冷臺(tái)傾轉(zhuǎn)角度>55°
?冷臺(tái)溫度≤180℃
?冷臺(tái)降*低溫時(shí)間:≤30min
?冷阱溫度≤l90℃
?冷阱降*低溫時(shí)間:≤l5min
?冷臺(tái)、冷阱設(shè)計(jì)烘烤功能
?烘烤溫度:80℃
?提供定制化樣品梭服務(wù)
360°旋轉(zhuǎn)冷臺(tái)
功能：用于裝載樣品梭及提供低溫保護(hù)
參數(shù)
?旋轉(zhuǎn)角度：0-360°
?控溫范圍：-180℃~80℃
?控溫精度：≤土0.1℃
?降溫速度：≤30min
冷阱
功能：低溫保護(hù)、吸附污染物
參數(shù)
?控溫范圍：≤-190℃
?控溫精度：≤士0.5℃
?降溫速度:≤15min
真空轉(zhuǎn)移腔
功能：用于樣品的真空轉(zhuǎn)移
參數(shù)
?可實(shí)現(xiàn)手套箱-FIB真空相互轉(zhuǎn)移
?可實(shí)現(xiàn)液氮內(nèi)樣品-FIB冷凍制樣真空轉(zhuǎn)移
真空過(guò)度倉(cāng)
功能：實(shí)現(xiàn)樣品到電鏡的真空過(guò)度轉(zhuǎn)移
參數(shù)
?操作快速
?便捷獨(dú)立真空系統(tǒng)
?匹配電鏡真空
低溫系統(tǒng)
功能：用于為冷臺(tái)、冷阱提供冷源
參數(shù)
?液氮容積35L
?持續(xù)工作時(shí)間>8h
?設(shè)計(jì)不停機(jī)添加液氮端囗
控制系統(tǒng)
功能：用于系統(tǒng)的控制、集成和交互
參數(shù)
?溫度顯示及控制
?真空系統(tǒng)集成與控制
?選配液氮工作站，可滿足樣品的冷進(jìn)冷出需求
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國(guó)產(chǎn)電子束光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)自主可控，是實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán)。近日，澤攸科技聯(lián)合松山湖材料實(shí)驗(yàn)室開(kāi)展的全自主電子束光刻機(jī)整機(jī)的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目取得重大進(jìn)展，成功研制出電子束光刻系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了
在科技創(chuàng)新的浪潮中，澤攸科技以其研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新精神，不斷推動(dòng)著儀器行業(yè)的發(fā)展。6月12日，我們迎來(lái)了一個(gè)具有里程碑意義的時(shí)刻——澤攸科技銅陵公司正式喬遷至東市電子創(chuàng)業(yè)園，這不僅是公司發(fā)展歷程中的一個(gè)新
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