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熱蒸鍍
熱蒸鍍（Thermal Evaporation）是一種用于沉積薄膜的技術(shù)，主要應(yīng)用于電子、光學(xué)、裝飾和能源等領(lǐng)域?。其基本原理是在真空條件下，通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在基板材料表面來(lái)獲得薄膜。熱蒸鍍系統(tǒng)通常由真空室、蒸發(fā)源或蒸發(fā)加熱裝置以及放置基板的裝置組成。將膜材置于真空鍍膜室內(nèi)，通過(guò)蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā)，蒸發(fā)分子在飛向基片表面過(guò)程中很少受到其他粒子的碰撞阻礙，直接凝結(jié)成膜。?
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