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全自動(dòng)碳化硅激光垂直剝離產(chǎn)線品牌
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全自動(dòng)激光垂直剝離碳化硅產(chǎn)線是用于第三代半導(dǎo)體材料(碳化硅)晶錠切割、剝離、研磨、循環(huán)加工的設(shè)備線，可對(duì)6/8/寸SiC晶錠實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)循環(huán)加工分片。
加工工藝
激光垂直剝離碳化硅設(shè)備采用的加工工藝是使用激光剝離取代傳統(tǒng)的線切割模式
加工效果
 |  |
| 剝離后6英寸半絕緣晶錠與晶圓 | 垂直剝離后8英寸導(dǎo)電型晶錠與晶圓 |
技術(shù)規(guī)格
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