中國(guó)粉體網(wǎng)訊 靜電卡盤又稱為靜電吸盤(ESC),在半導(dǎo)體設(shè)備中價(jià)值比較高的部件之一,是一種半導(dǎo)體工藝中的硅片夾持工具,利用靜電吸附原理來(lái)固定硅片。靜電卡盤結(jié)構(gòu)示意圖來(lái)源:Shinko官網(wǎng),光大證券研究所目前,靜電吸盤廣泛應(yīng)用[更多]
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