分析科學(xué)現(xiàn)代方法正是人類知識(shí)寶庫(kù)中最重要、最活躍的領(lǐng)域之一，它不僅是研究的對(duì)象，而且又是觀察和探索世界，特別是微觀世界的重要手段，各行各業(yè)都離不開(kāi)它。隨著納米材料科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，要求改進(jìn)和發(fā)展新分析方法、新分析技術(shù)和新概念，提高其靈敏度、準(zhǔn)確度和可靠性，從中提取更多信息，提高測(cè)試質(zhì)量、效率和經(jīng)濟(jì)性。
納米科學(xué)和技術(shù)是在納米尺度上（0.1-100nm之間）研究物質(zhì)(包括原子、分子)的特性和相互作用，并且利用這些特性的多學(xué)科的高科技。納米科技是未來(lái)高科技的基礎(chǔ)，而適合納米科技研究的儀器分析方法是納米科技中必不可少的實(shí)驗(yàn)手段。因此，納米材料的分析和表征對(duì)納米材料和納米科技發(fā)展具有重要的意義和作用。
納米技術(shù)與納米材料是一個(gè)典型的新興高技術(shù)領(lǐng)域。雖然許多研究人員已經(jīng)涉足了該領(lǐng)域的研究，但還有很多研究人員以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的從業(yè)人員對(duì)納米材料還不很熟悉，尤其是如何分析和表征納米材料、如何獲得納米材料的一些特征信息。為了滿足納米科技工作者的需要，本文對(duì)納米材料的一些常用分析和表征技術(shù)，主要從納米材料的成分分析、形貌分析、粒度分析、結(jié)構(gòu)分析以及表面界面分析等幾個(gè)方面進(jìn)行簡(jiǎn)要闡述。
1. 納米材料的粒度分析
1.1粒度分析的概念
大部分固體材料均是由各種形狀不同的顆粒構(gòu)造而成，因此，細(xì)微顆粒材料的形狀和大小對(duì)材料結(jié)構(gòu)和性能具有重要的影響。尤其對(duì)納米材料，其顆粒大小和形狀對(duì)材料的性能起著決定性的作用。因此，對(duì)納米材料的顆粒大小、形狀的表征和控制具有重要意義。一般固體材料顆粒大小可以用顆粒粒度概念來(lái)表述。
對(duì)于不同原理的粒度分析儀器，所依據(jù)的測(cè)量原理不同，其顆粒特性也不同，只能進(jìn)行有效對(duì)比，不能進(jìn)行橫向直接對(duì)比。由于粉體材料顆粒形狀不可能都是均勻球形的，有各種各樣的結(jié)構(gòu)，因此，在大多數(shù)情況下粒度分析儀所測(cè)的粒徑是一種等效意義上的粒徑，和實(shí)際的顆粒大小分布會(huì)有一定的差異，因此只具有相對(duì)比較的意義。此外，各種不同粒度分析方法獲得的粒徑大小和分布數(shù)據(jù)也可能不能相互印證，不能進(jìn)行絕對(duì)的橫向比較。
由于粉體材料的顆粒大小分布較廣，可從納米級(jí)到毫米級(jí)，因此在描述材料粒度大小時(shí)，可以把顆粒按大小分為納米顆粒、超微顆粒、微粒、細(xì)粒、粗粒等種類。近年來(lái)，隨著納米科學(xué)和技術(shù)的迅猛發(fā)展，納米材料的顆粒分布以及顆粒大小已經(jīng)成為納米材料表征的重要指標(biāo)之一，在普通的材料粒度分析中，其研究的顆粒大小一般在100nm尺寸范圍。而對(duì)于納米材料研究，其研究的粒度分布范圍主要在1-500nm之間，尤其1-20nm是納米材料研究最關(guān)注的尺寸范圍。
在納米材料分析和研究中，經(jīng)常遇到的納米顆粒通常是指顆粒尺寸為納米量級(jí)（1-100nm）的超細(xì)微粒。由于該類材料的顆粒尺寸為納米量級(jí)，本身具有小尺寸效應(yīng)、量子尺寸效應(yīng)、表面效應(yīng)和宏觀量子隧道效應(yīng)，因此具有許多常規(guī)材料所不具備的特性。因?yàn)榧{米材料的粒度大小、分布、在介質(zhì)中的分散性能以及二次粒子的聚集形態(tài)等對(duì)納米材料的性能具有重要影響，所以，納米材料粒度的分析是納米材料研究的一個(gè)重要方面。同樣由于納米材料的特性和重要性，促進(jìn)了粒度分析和表征的方法和技術(shù)的發(fā)展，納米材料粒度的分析已經(jīng)發(fā)展成為現(xiàn)代粒度分析的一個(gè)重要領(lǐng)域。
1.2.粒度分析的種類和適用范圍
雖然粒度的分析方法多種多樣，基本上可歸納為以下幾種方法。傳統(tǒng)的顆粒測(cè)量方法有篩分法、顯微鏡法、沉降法等。近年來(lái)發(fā)展的方法有激光衍射法、激光散射法、光子相干光譜法、電子顯微鏡圖像分析法、基于布朗運(yùn)動(dòng)的粒度測(cè)量法和質(zhì)譜法等。其中激光散射法和光子相干光譜法由于具有速度快、測(cè)量范圍廣、數(shù)據(jù)可靠、重復(fù)性好、自動(dòng)化程度高、便于在線測(cè)量等測(cè)量而被廣泛應(yīng)用。
1.2.1顯微鏡法
顯微鏡法(microscopy)是一種測(cè)定顆粒粒度的常用方法。根據(jù)材料顆粒的不同，既可以采用一般的光學(xué)顯微鏡，也可以采用電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡測(cè)定范圍為0.8-150μm，小于0.8μm者必須用電子顯微鏡觀察。掃描電鏡和透射電子顯微鏡常用于直接觀察大小在1nm-5μm范圍內(nèi)的顆粒，適合納米材料的粒度大小和形貌分析。圖像分析技術(shù)因其測(cè)量的隨機(jī)性、統(tǒng)計(jì)性和直觀性被公認(rèn)為是測(cè)量結(jié)果與實(shí)際粒度分布吻合最好的測(cè)試技術(shù)。其優(yōu)點(diǎn)是直接觀察顆粒形狀，可以直接觀察顆粒是否團(tuán)聚。缺點(diǎn)是取樣代表性差，實(shí)驗(yàn)重復(fù)性差，測(cè)量速度慢。
為了適合納米科技發(fā)展的需要，納米材料粒度的分析方法逐步成為粒度分析的重要內(nèi)容。目前，適合納米材料粒度分析的方法主要是激光動(dòng)態(tài)光散射粒度分析法和光子相關(guān)光譜分析法，其測(cè)量顆粒最小粒徑可以達(dá)到20nm和1nm。
對(duì)于納米材料體系的粒度分析，首先要分清是對(duì)顆粒的一次粒度還是對(duì)二次粒度進(jìn)行分析。一次粒度的分析主要采用電鏡的直觀觀測(cè)，根據(jù)需要和樣品的粒度范圍，可依次采用掃描電鏡(SEM)、透射電鏡(TEM)、掃描隧道電鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)觀測(cè)，直觀得到單個(gè)顆粒的原始粒徑及形貌。由于電鏡法是對(duì)局部區(qū)域的觀測(cè)，所以，在進(jìn)行粒度分布分析時(shí)，需要多幅照片的觀測(cè)，通過(guò)軟件分析得到統(tǒng)計(jì)的粒度分布。電鏡法得到的一次粒度分析結(jié)果一般很難代表實(shí)際樣品顆粒的分布狀態(tài)。納米材料顆粒體系二次粒度統(tǒng)計(jì)分析方法，按原理分較先進(jìn)的三種典型方法是:高速離心沉降法、激光粒度分析法和電超聲粒度分析法。
1.2.2.電鏡觀察粒度分析
電鏡法進(jìn)行納米材料顆粒度分析也是納米材料研究最常用的方法，不僅可以進(jìn)行納米顆粒大小的分析，也可以對(duì)顆粒大小的分布進(jìn)行分析，還可以得到顆粒形貌的數(shù)據(jù)。一般采用的電鏡有掃描電鏡和透射電鏡，其進(jìn)行粒度分布的主要原理是通過(guò)溶液分散制樣的方式把納米材料樣品分散在樣品臺(tái)上，然后通過(guò)電鏡放大觀察和照相。通過(guò)計(jì)算機(jī)圖像分析程序就可以把顆粒大小、顆粒大小的分布以及形狀數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)出來(lái)。
普通掃描電鏡的顆粒分辨率一般在6nm左右，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到0.5nm。掃描電鏡對(duì)納米粉體樣品可以進(jìn)行溶液分散制樣，也可以直接進(jìn)行干粉制樣，對(duì)樣品制備的要求比較低，但由于電鏡對(duì)樣品要求有一定的導(dǎo)電性能，因此，對(duì)于非導(dǎo)電性樣品需要進(jìn)行表面蒸鍍導(dǎo)電層如表面鍍金，蒸碳等。一般在10nm以下的樣品不能蒸金，因?yàn)轭w粒大小在8nm左右，會(huì)產(chǎn)生干擾，應(yīng)采取蒸碳方式。掃描電鏡有很大的掃描范圍，原則上從1nm到毫米量級(jí)均可以用掃描電鏡進(jìn)行粒度分析，而對(duì)于透射電鏡，由于需要電子束透過(guò)樣品，因此，適用的粒度分析范圍在1—300nm之間。對(duì)于電鏡法粒度分析還可以和電鏡的其它技術(shù)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)顆粒求成分和晶體結(jié)構(gòu)的測(cè)定，這是其它粒度分析法不能實(shí)現(xiàn)的。
2. 納米材料的形貌分析
2.1形貌分析的重要性
材料的形貌尤其是納米材料的形貌是材料分析的重要組成部分，材料的很多物理化學(xué)性能是由其形貌特征所決定的。對(duì)于納米材料，其性能不僅與材料顆粒大小還與材料的形貌有重要關(guān)系。因此，納米材料的形貌分析是納米材料的重要研究?jī)?nèi)容。形貌分析主要內(nèi)容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、顆粒的分布以及形貌微區(qū)的成分和物相結(jié)構(gòu)等方面。
2.2形貌分析的主要方法
納米材料常用的形貌分析方法主要有:掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)。掃描電鏡和透射電鏡形貌分析不僅可以分析納米粉體材料，還可分析塊體材料的形貌。其提供的信息主要有材料的幾何形貌、粉體的分散狀態(tài)、納米顆粒的大小、分布、特定形貌區(qū)域的元素組成和物相結(jié)構(gòu)。掃描電鏡分析可以提供從數(shù)納米到毫米范圍內(nèi)的形貌像，觀察視為大，其分辨率一般為6nm，對(duì)于場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其空間分辨率可以達(dá)到0.5nm量級(jí)。透射電鏡具有很高的空間分辨能力，特別適合粉體材料的分析。其特點(diǎn)是樣品使用量少，不僅可以獲得樣品的形貌、顆粒大小、分布，還可以獲得特定區(qū)域的元素組成及物相結(jié)構(gòu)信息。透射電鏡比較適合納米粉體樣品的形貌分析，但顆粒大小應(yīng)小于300 nm，否則電子束就不能穿透了。對(duì)塊體樣品的分析，透射電鏡一般需要對(duì)樣品需要進(jìn)行減薄處理。掃描隧道顯微鏡主要針對(duì)一些特殊導(dǎo)電固體樣品的形貌分析，可以達(dá)到原子量級(jí)的分辨率，僅適合具有導(dǎo)電性的薄膜材料的形貌分析和表面原子結(jié)構(gòu)分布分析，對(duì)納米粉體材料不能分析。掃描原子力顯微鏡可以對(duì)納米薄膜進(jìn)行形貌分析，分辨率可以達(dá)到幾十納米，比掃描隧道顯微鏡差，但適合導(dǎo)體和非導(dǎo)體樣品，不適合納米粉體的形貌分析。總之，這四種形貌分析方法各有特點(diǎn)，電鏡分析具有更多優(yōu)勢(shì)，但掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡具有可以氣氛下進(jìn)行原位形貌分析的特點(diǎn)。
人的眼睛的分辨本領(lǐng)為0.5mm左右。顯微鏡的分辨本領(lǐng)，可以用d=0.61λ/(nsinα)公式來(lái)表達(dá)，由此可見(jiàn)顯微鏡的分辨本領(lǐng)與光的波長(zhǎng)成正比。當(dāng)光的波長(zhǎng)越長(zhǎng)，其分辨率越低只有采用比較短的波長(zhǎng)的光線，才能獲得較高的放大倍數(shù)。比可見(jiàn)光波長(zhǎng)更短的波有紫外線、X射線和電子波。利用電子束作為提高顯微鏡分辨率的新光源，即電子顯微鏡。目前，電子顯微鏡的放大倍數(shù)已達(dá)到150萬(wàn)倍，這是光學(xué)顯微鏡所無(wú)法達(dá)到的。
電子透鏡不僅具有分辨本領(lǐng)大的特點(diǎn)，還具有景深大、焦距長(zhǎng)的特點(diǎn)。所謂景深是指在保持物像清晰度的前提下，試樣在物平面上下沿鏡軸可移動(dòng)的距離。換言之，在景深范圍內(nèi)，樣品位置的變化并不影響物像的清晰度。也可以認(rèn)為是試樣超越物平面所允許的厚度。所謂焦深是指在保持物像清晰的前提下，像平面沿鏡軸可移動(dòng)的距離，或者說(shuō)觀察屏或照相底板沿鏡軸所允許的移動(dòng)距離。在金相攝影中只要景深允許，可以使樣品表面凸凹不平的形貌在照片上都得到清晰的圖像。
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種常見(jiàn)的廣泛使用的表面形貌分析儀器。材料的表面的微觀形貌的高倍數(shù)照片是通過(guò)能量高度集中的電子掃描材料表面而產(chǎn)生的。
掃描電子顯微鏡之所以能放大很大的倍數(shù)，是因?yàn)榛倦娮邮梢约袙呙枰粋�(gè)非常小的區(qū)域（<10nm），在用小于1KeV能量的基本電子束掃描小于5nm的表面區(qū)域時(shí)，就能產(chǎn)生對(duì)微觀形貌較高的靈敏度。
掃描電子顯微鏡的原理與光學(xué)成像原理相近。主要利用電子束切換可見(jiàn)光，利用電磁透鏡代替光學(xué)透鏡的一種成像方式。
掃描電鏡的成像原理與光學(xué)顯微鏡不同，但和透射電鏡也不完全一樣。
掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是:有較高的放大倍數(shù)，20倍—20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào);有很大的景深，視野大，求成像富有立體咸，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡(jiǎn)單。日目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置。這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它像透射電鏡一樣是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器，分辨率是掃描電鏡的主要性能指標(biāo)。對(duì)微區(qū)成分分析而言，它是指能分析們的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)一之間的最小距離，分辨率大小由入射電子束直徑和調(diào)節(jié)信號(hào)類型共同決定。電子束直徑越小，分辨率越高。但由于成像信號(hào)不同，例如二次電子和背反射電子，在樣品表面的發(fā)射范圍也不同，從而影響其分辨率。
與透射電鏡景深分析一樣，掃描電鏡的景深也可表達(dá)為Df〉〉2△r0/α，式中α為電子束孔徑角�？梢�(jiàn)，電子束孔徑角是決定掃描電鏡景深的主要因素，它取決于末級(jí)逐透鏡的光闌直徑和工作距離。掃描電鏡的末級(jí)透鏡采用小孔徑角、長(zhǎng)焦距，所以可獲得很大卡景深，它比一般光學(xué)顯微鏡景深大100-500倍，比透射電鏡大10倍。由于景深大，掃描電鏡的圖像立體咸強(qiáng)，形態(tài)逼真。對(duì)于表面粗糙的斷口試樣來(lái)講，光學(xué)顯微鏡因景深小無(wú)能為力，透射電鏡對(duì)樣品要求苛刻，即使用復(fù)型樣品也難免出現(xiàn)假像，且景深也較掃描電鏡為小，因此用掃描電鏡觀察分析斷口試樣具有其它分析儀器無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn)。
3. 成分分析
3.1成分分析方法與范圍
納米材料的光、電、聲、熱、磁等理物性能與組成納米材料的化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)具有密切關(guān)系。因此，確定納米材料的元素組成，測(cè)定納米材料中雜質(zhì)的種類和濃度，是納米材料分析的重要內(nèi)容之一。
納米材料成分分析按照分析對(duì)象可分為微量樣品分析和痕量成分分析兩種類型。微量樣品分析是就取樣量而言。痕量成分分析則是就待測(cè)成分在納米材料中的含量而言，由于雜質(zhì)或摻雜的成分含量很低，在百萬(wàn)分之一甚至更低的濃度范圍，因此稱這類分析為痕量成分分析。
納米材料的成分分析方法按照分析的目的不同又分為體相元素成分分析、表面成分分析和微區(qū)成分分析等方法。
納米材料的體相元素組成及其雜質(zhì)成分的分析方法包括原子吸收、原子發(fā)射、ICP質(zhì)譜以及X射線熒光與衍射分析方法。其中前三種分析方法需要對(duì)樣品溶解后再進(jìn)行測(cè)定，因此屬于破壞性樣品分析方法，而X射線熒光與衍射分析方法可以直接對(duì)固體樣品進(jìn)行測(cè)定，因此又稱為非破壞性元素分析方法。
3.2X射線熒光光譜分析方法（XFS）是一種非破壞性的分析方法，可以對(duì)固體樣品進(jìn)行直接測(cè)定，因此在納米材料成分分析中具有較大的優(yōu)勢(shì)。X射線熒光的能量或波長(zhǎng)是特征性的，與元素有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。因此，只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)，就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外，熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)的元素含量有一定關(guān)系。據(jù)此，可進(jìn)行元素的定量分析。
納米材料的表面分析方法目前最常用的有X射線光電子能譜（XPS）分析方法、俄歇電子能譜（AES）分析方法、電子衍射分析方法和二次離子質(zhì)譜（SIMS）分析方法等。這些方法能夠?qū){米材料表面化學(xué)成分、分布狀態(tài)與價(jià)態(tài)、表面與界面的吸附與擴(kuò)散反應(yīng)的狀況等進(jìn)行測(cè)定，當(dāng)把能譜與電子探針技術(shù)與掃描或透射電鏡技術(shù)相結(jié)合時(shí)，還可對(duì)納米材料的微區(qū)成分進(jìn)行分析，因此在納米材料的成分分析特別是納米薄膜的微區(qū)成分分析中有廣泛的應(yīng)用。
3.3電子能譜分析方法主要包括X射線光電子能譜和俄歇電子能譜分析方法。兩種方法們的共同特點(diǎn)是基于材料表面被激發(fā)出來(lái)的電子所具有的特征能量分布（能譜）而對(duì)材料表面元素進(jìn)行分析的方法。兩者的主要區(qū)別是所采用的激光源不同，X射線光電子能譜用X射線作為激發(fā)源，而俄歇電子能譜則采用電子束作為激發(fā)源。
作為一種典型的表面分析方法，X射線光電子能譜法（XPS）能夠提供樣品表面的元素含量與形態(tài)，其信息深度約為3-5nm。俄歇電子能譜是利用電子槍所發(fā)射的電子束逐出的俄歇電子對(duì)材料表面進(jìn)行分析的方法，而且是一種靈敏度很高的分析方法，其信息深度為1.0--3.0nm，絕對(duì)靈敏度可達(dá)到10-3個(gè)單原子層，是一種很有用的分析方法。
3.4透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡已經(jīng)廣泛應(yīng)用于納米材料的形貌分析，當(dāng)人們對(duì)納米材料成像后所觀察到的某一個(gè)微區(qū)的元素成分有興趣時(shí)，可結(jié)合電子顯微鏡和能譜兩種方法共同對(duì)某一微區(qū)的情況進(jìn)行分析。此外，微區(qū)分析還能夠用于研究材料夾雜物、析出相、晶界偏析等微觀現(xiàn)象，因此十分有用。
4.納米材料的結(jié)構(gòu)分析
4.1.納米材料的結(jié)構(gòu)特征
根據(jù)納米材料結(jié)構(gòu)的不同，大體上可以把納米材料分為四類，即:納米結(jié)構(gòu)晶體或三維納米結(jié)構(gòu)(如等軸微晶);二維納來(lái)米結(jié)構(gòu)(如納米薄膜);一維納米結(jié)構(gòu)(如納米管);以及零維原子簇或簇組裝(如粒徑不大于2nm的納米粒子)。納米材料包括晶體、膺晶體、無(wú)定形金屬、陶瓷和化合物等。納米材料有以下性質(zhì)。
4.1.1. 小尺寸效應(yīng) 當(dāng)納米微粒尺寸與光波的波長(zhǎng)、傳導(dǎo)電子的德布羅意波長(zhǎng)以及超導(dǎo)態(tài)的相干長(zhǎng)度或穿透深度等物理特征尺寸相當(dāng)時(shí)，晶體周期性的邊界條件將被破壞，聲、光、力、電、熱、磁、內(nèi)壓、化學(xué)活性等與普通粒子相比均有很大變化，這就是納米粒子的小尺寸效應(yīng)(也稱體積效應(yīng))。
4.1.2. 表面與界面效應(yīng) 納米粒子由于尺寸小、表面積大、表面能高、位于表面的原子處于嚴(yán)重的缺位狀態(tài)，因此其活性極高，很不穩(wěn)定，遇到其它原子時(shí)很快結(jié)合，這種活性就是表面效應(yīng)。
4.1.3. 量子尺寸效應(yīng) 當(dāng)微晶尺寸與德布羅意波長(zhǎng)相當(dāng)時(shí)，粒子中的電子運(yùn)動(dòng)在三個(gè)方向上均受到限制，電子的連續(xù)能帶被分裂至接近分子軌道能級(jí)，納米粒子的聲、光、電、磁、熱以及超導(dǎo)電性與宏觀特性有很大的不同，稱為量子尺寸效應(yīng)。
4.1.4. 宏觀量子隧道效應(yīng) 隧道效應(yīng)是指微觀粒子具有貫穿勢(shì)壘的能力，后來(lái)人們發(fā)現(xiàn)一些宏觀量，如磁化強(qiáng)度、量子干涉器件中的磁通量也具有隧道效應(yīng)，稱之為宏觀量子隧道效應(yīng)。納米粒子具有與微觀粒子相似的能夠貫穿勢(shì)壘的隧道效應(yīng)，該效應(yīng)也被稱為宏觀量子隧道效應(yīng)。
材料的性質(zhì)與微觀結(jié)構(gòu)有密切關(guān)系。納米材料的這些特殊性質(zhì)與其結(jié)構(gòu)之間必然有著緊密的聯(lián)系。因此研究納米材料的微觀結(jié)構(gòu)是非常有意義的。納米材料主要是由納米晶粒和晶粒界面兩部分組成，兩者對(duì)納米材料性能有重要影響。有關(guān)納米晶粒內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)的研究表明，納米材料的微觀結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的晶體結(jié)構(gòu)基本一致，但是由于每個(gè)晶胞僅包含著有限的晶胞，晶格點(diǎn)陣必然會(huì)發(fā)生一定程度的彈性變形。
4.2物相結(jié)構(gòu)的亞微觀特征
人們已經(jīng)了解到，不僅納米材料的成分和形貌對(duì)其性能有重要影響，納米材料的物相結(jié)構(gòu)和晶體結(jié)構(gòu)對(duì)材料的性能也有重要的影響。因此，對(duì)納米材料的物相結(jié)構(gòu)分析也是材料分析的重要內(nèi)容之一。物相結(jié)構(gòu)分析的目的是為了精確表征以下的亞微觀特征：
4.2.1晶粒的尺寸、分布和形貌；
4.2.2.晶界和相界面的本質(zhì);
4.2.3晶體的完整性和晶間缺陷；
4.2.4跨晶粒和跨晶界的組成和分布；
4.2.5微晶及晶界中雜質(zhì)的剖析。
除此之外，分析的目的還在于測(cè)定納米材料的結(jié)構(gòu)特性，為解釋材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系提供實(shí)驗(yàn)依據(jù)。目前，常用的物相分析方法有X射線衍射分析、激光拉曼分析以及微區(qū)電子衍射分析等。
4.3.納米材料結(jié)構(gòu)分析新進(jìn)展
材料結(jié)構(gòu)表征的方法相當(dāng)多，適用于納米材料結(jié)構(gòu)分析的儀器也不止上面介紹的幾種，而且新的表征也不斷出現(xiàn)。如高分辨電子顯微鏡已經(jīng)能夠以原子級(jí)的分辨率顯示原子排列和化學(xué)成分，隧道掃描顯微鏡能夠測(cè)定材料表面和近表面原子排列和電子結(jié)構(gòu)，低能電子顯微鏡可用于顯示表面缺陷結(jié)構(gòu)等。
隨著分析儀器和技術(shù)的不斷發(fā)展，納米材料結(jié)構(gòu)研究所能夠采用的試驗(yàn)儀器越來(lái)越多，包括高分辨透射電鏡（HRTEM）、掃描探針顯微鏡（SPM）、掃描隧道顯微鏡（STM）、原子力顯微鏡（AFM）、場(chǎng)離子顯微鏡（FIM）、X射線衍射儀（XRD）、擴(kuò)展X射線吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)定儀（EXAFS）、穆斯堡爾譜儀（MS）、拉曼散射儀（RS）等等�？梢哉J(rèn)為，納米結(jié)構(gòu)的研究方法幾乎已經(jīng)涉及全部物質(zhì)結(jié)構(gòu)分析測(cè)試的儀器。
5．納米材料表面與界面分析
5.1納米材料表面與界面分析方法
固體材料的表面與界面分析已發(fā)展為納米薄膜材料研究的重要內(nèi)容，特別是對(duì)于固體材料的元素化學(xué)態(tài)分析、元素三維分布分析以及微區(qū)分析。目前，常用的表面和界面分析方法有：X射線光電子能譜（XPS）、俄歇電子能譜（AES）、靜態(tài)二次離子質(zhì)譜（SIMS）和離子散射譜（ISS）。其中XPS占了整個(gè)表面成分分析的50%，AES占了40%，SIMS占了8%。在這些表面與界面分析方法中，XPS的應(yīng)用范圍最廣，可以適合各種材料的分析，尤其適合材料化學(xué)狀態(tài)的分析，更適合于涉及到化學(xué)信息領(lǐng)域的研究。
目前，商用表面分析譜儀的高真空度可達(dá)10-10Torr左右。在X射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀中必須采用超高真空系統(tǒng)，主要是出于兩個(gè)方面的原因，首先，XPS和AES都是表面分析技術(shù)，如果分析室的真空度很差，在很短時(shí)間內(nèi)清潔表面可能被真空中的殘氣體所覆蓋。沒(méi)有超高真空條件不可能獲得真實(shí)的表面成分信息。
5. 2 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)的分析方法
5.2.1表面元素定性分析 這是一種最常規(guī)的分析方法，一般利用XPS譜儀的寬掃描程序。
5.2.2表面元素的半定量分析 首先應(yīng)當(dāng)明確的是XPS并不是一種很好的定量的分析方法。它給出的僅是一種半定量的結(jié)果，即相對(duì)含量而不是絕對(duì)含量。
5.2.3表面元素的化學(xué)價(jià)態(tài)分析表面元素化學(xué)價(jià)態(tài)分析是XPS的最重要的一種分析功能，也是XPS圖譜解析最難，比較容易發(fā)生錯(cuò)誤的部分。
5.3俄歇電子能譜分析
俄歇電子能譜法是一種最廣泛使用的分析方法，其優(yōu)點(diǎn)是：在靠近表面0.5-2年nm范圍內(nèi)化學(xué)分析的靈敏度高;數(shù)據(jù)分析速度快;俄歇電子能譜可以分析除氫氦以外的所有元素�，F(xiàn)已發(fā)展成為表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微區(qū)分析的重要手段。新型的俄歇電子能譜儀具有很強(qiáng)的做微區(qū)分析能力和三維分析能力，其微區(qū)分析直徑可以小到6nm，大大提高了在微電子技術(shù)和納米技術(shù)方面的分析能力。此外，俄歇電子能譜儀還具有很強(qiáng)的化學(xué)價(jià)態(tài)分析能力，不僅可以進(jìn)行元素化學(xué)成分分析，還可以進(jìn)行元素化學(xué)價(jià)態(tài)分析。俄歇電子能譜分析是目前最重要和最常用的表面分析和界面分析方法之一。由于具有很高的空間分辨能力(6nm)以及表面分析能力(0.5-2nm)，因此，俄歇電子能譜尤其適合于納米材料的表面和界面分析。俄歇電子能譜儀在納米材料尤其是納米器件的研究上具有廣闊的應(yīng)用前景。
俄歇電子能譜定性分析主要是利用俄歇電子的特征能量來(lái)確定固體表面的元素組成。由于俄歇電子的能量?jī)H與原子本身的軌道能級(jí)有關(guān)，與入射電子的能量無(wú)關(guān)，也就是說(shuō)與激發(fā)源無(wú)關(guān)。對(duì)于特定的元素及特定的俄歇躍遷過(guò)程，其俄歇電子的能量是特征的。由此，可以根據(jù)俄歇電子的動(dòng)能來(lái)定性分析樣品表面物質(zhì)元素的種類。由于每個(gè)元素會(huì)有多個(gè)俄歇峰，定性分析的準(zhǔn)確性很高。因此，AES技術(shù)是適用對(duì)所有元素進(jìn)行一次全分析的有效定性分析方法，這對(duì)于未知樣品的定性鑒定是非常有效的。
俄歇電子的強(qiáng)度不僅與原子序數(shù)有關(guān)，還與俄歇電子的逃逸深度、樣品的表面粗糙度、元素存在的化學(xué)狀態(tài)以及儀器的狀態(tài)有關(guān)。因此，AES技術(shù)一般不能給出所分析元素的絕對(duì)含量，僅能提供元素的相對(duì)含量。且因?yàn)樵氐撵`敏度因子不僅與元素種類有關(guān)，還與元素在樣品中存在狀態(tài)及儀器的狀態(tài)有關(guān)，即使是相對(duì)含量不經(jīng)校準(zhǔn)也存在很大的誤差。此外，還必須注意的是，雖然AES的絕對(duì)檢測(cè)靈敏度很高，可達(dá)到10-3原子單層，但它是一種表面靈敏度的分析方法，對(duì)于體相檢測(cè)靈敏度僅為0.1%左右。其表面采樣深度為1.0-3.0nm。
納米科學(xué)和技術(shù)是在納米尺度上（0.1-100nm之間）研究物質(zhì)(包括原子、分子)的特性和相互作用，并且利用這些特性的多學(xué)科的高科技。納米科技是未來(lái)高科技的基礎(chǔ)，而適合納米科技研究的儀器分析方法是納米科技中必不可少的實(shí)驗(yàn)手段。因此，納米材料的分析和表征對(duì)納米材料和納米科技發(fā)展具有重要的意義和作用。
納米技術(shù)與納米材料是一個(gè)典型的新興高技術(shù)領(lǐng)域。雖然許多研究人員已經(jīng)涉足了該領(lǐng)域的研究，但還有很多研究人員以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的從業(yè)人員對(duì)納米材料還不很熟悉，尤其是如何分析和表征納米材料、如何獲得納米材料的一些特征信息。為了滿足納米科技工作者的需要，本文對(duì)納米材料的一些常用分析和表征技術(shù)，主要從納米材料的成分分析、形貌分析、粒度分析、結(jié)構(gòu)分析以及表面界面分析等幾個(gè)方面進(jìn)行簡(jiǎn)要闡述。
1. 納米材料的粒度分析
1.1粒度分析的概念
大部分固體材料均是由各種形狀不同的顆粒構(gòu)造而成，因此，細(xì)微顆粒材料的形狀和大小對(duì)材料結(jié)構(gòu)和性能具有重要的影響。尤其對(duì)納米材料，其顆粒大小和形狀對(duì)材料的性能起著決定性的作用。因此，對(duì)納米材料的顆粒大小、形狀的表征和控制具有重要意義。一般固體材料顆粒大小可以用顆粒粒度概念來(lái)表述。
對(duì)于不同原理的粒度分析儀器，所依據(jù)的測(cè)量原理不同，其顆粒特性也不同，只能進(jìn)行有效對(duì)比，不能進(jìn)行橫向直接對(duì)比。由于粉體材料顆粒形狀不可能都是均勻球形的，有各種各樣的結(jié)構(gòu)，因此，在大多數(shù)情況下粒度分析儀所測(cè)的粒徑是一種等效意義上的粒徑，和實(shí)際的顆粒大小分布會(huì)有一定的差異，因此只具有相對(duì)比較的意義。此外，各種不同粒度分析方法獲得的粒徑大小和分布數(shù)據(jù)也可能不能相互印證，不能進(jìn)行絕對(duì)的橫向比較。
由于粉體材料的顆粒大小分布較廣，可從納米級(jí)到毫米級(jí)，因此在描述材料粒度大小時(shí)，可以把顆粒按大小分為納米顆粒、超微顆粒、微粒、細(xì)粒、粗粒等種類。近年來(lái)，隨著納米科學(xué)和技術(shù)的迅猛發(fā)展，納米材料的顆粒分布以及顆粒大小已經(jīng)成為納米材料表征的重要指標(biāo)之一，在普通的材料粒度分析中，其研究的顆粒大小一般在100nm尺寸范圍。而對(duì)于納米材料研究，其研究的粒度分布范圍主要在1-500nm之間，尤其1-20nm是納米材料研究最關(guān)注的尺寸范圍。
在納米材料分析和研究中，經(jīng)常遇到的納米顆粒通常是指顆粒尺寸為納米量級(jí)（1-100nm）的超細(xì)微粒。由于該類材料的顆粒尺寸為納米量級(jí)，本身具有小尺寸效應(yīng)、量子尺寸效應(yīng)、表面效應(yīng)和宏觀量子隧道效應(yīng)，因此具有許多常規(guī)材料所不具備的特性。因?yàn)榧{米材料的粒度大小、分布、在介質(zhì)中的分散性能以及二次粒子的聚集形態(tài)等對(duì)納米材料的性能具有重要影響，所以，納米材料粒度的分析是納米材料研究的一個(gè)重要方面。同樣由于納米材料的特性和重要性，促進(jìn)了粒度分析和表征的方法和技術(shù)的發(fā)展，納米材料粒度的分析已經(jīng)發(fā)展成為現(xiàn)代粒度分析的一個(gè)重要領(lǐng)域。
1.2.粒度分析的種類和適用范圍
雖然粒度的分析方法多種多樣，基本上可歸納為以下幾種方法。傳統(tǒng)的顆粒測(cè)量方法有篩分法、顯微鏡法、沉降法等。近年來(lái)發(fā)展的方法有激光衍射法、激光散射法、光子相干光譜法、電子顯微鏡圖像分析法、基于布朗運(yùn)動(dòng)的粒度測(cè)量法和質(zhì)譜法等。其中激光散射法和光子相干光譜法由于具有速度快、測(cè)量范圍廣、數(shù)據(jù)可靠、重復(fù)性好、自動(dòng)化程度高、便于在線測(cè)量等測(cè)量而被廣泛應(yīng)用。
1.2.1顯微鏡法
顯微鏡法(microscopy)是一種測(cè)定顆粒粒度的常用方法。根據(jù)材料顆粒的不同，既可以采用一般的光學(xué)顯微鏡，也可以采用電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡測(cè)定范圍為0.8-150μm，小于0.8μm者必須用電子顯微鏡觀察。掃描電鏡和透射電子顯微鏡常用于直接觀察大小在1nm-5μm范圍內(nèi)的顆粒，適合納米材料的粒度大小和形貌分析。圖像分析技術(shù)因其測(cè)量的隨機(jī)性、統(tǒng)計(jì)性和直觀性被公認(rèn)為是測(cè)量結(jié)果與實(shí)際粒度分布吻合最好的測(cè)試技術(shù)。其優(yōu)點(diǎn)是直接觀察顆粒形狀，可以直接觀察顆粒是否團(tuán)聚。缺點(diǎn)是取樣代表性差，實(shí)驗(yàn)重復(fù)性差，測(cè)量速度慢。
為了適合納米科技發(fā)展的需要，納米材料粒度的分析方法逐步成為粒度分析的重要內(nèi)容。目前，適合納米材料粒度分析的方法主要是激光動(dòng)態(tài)光散射粒度分析法和光子相關(guān)光譜分析法，其測(cè)量顆粒最小粒徑可以達(dá)到20nm和1nm。
對(duì)于納米材料體系的粒度分析，首先要分清是對(duì)顆粒的一次粒度還是對(duì)二次粒度進(jìn)行分析。一次粒度的分析主要采用電鏡的直觀觀測(cè)，根據(jù)需要和樣品的粒度范圍，可依次采用掃描電鏡(SEM)、透射電鏡(TEM)、掃描隧道電鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)觀測(cè)，直觀得到單個(gè)顆粒的原始粒徑及形貌。由于電鏡法是對(duì)局部區(qū)域的觀測(cè)，所以，在進(jìn)行粒度分布分析時(shí)，需要多幅照片的觀測(cè)，通過(guò)軟件分析得到統(tǒng)計(jì)的粒度分布。電鏡法得到的一次粒度分析結(jié)果一般很難代表實(shí)際樣品顆粒的分布狀態(tài)。納米材料顆粒體系二次粒度統(tǒng)計(jì)分析方法，按原理分較先進(jìn)的三種典型方法是:高速離心沉降法、激光粒度分析法和電超聲粒度分析法。
1.2.2.電鏡觀察粒度分析
電鏡法進(jìn)行納米材料顆粒度分析也是納米材料研究最常用的方法，不僅可以進(jìn)行納米顆粒大小的分析，也可以對(duì)顆粒大小的分布進(jìn)行分析，還可以得到顆粒形貌的數(shù)據(jù)。一般采用的電鏡有掃描電鏡和透射電鏡，其進(jìn)行粒度分布的主要原理是通過(guò)溶液分散制樣的方式把納米材料樣品分散在樣品臺(tái)上，然后通過(guò)電鏡放大觀察和照相。通過(guò)計(jì)算機(jī)圖像分析程序就可以把顆粒大小、顆粒大小的分布以及形狀數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)出來(lái)。
普通掃描電鏡的顆粒分辨率一般在6nm左右，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到0.5nm。掃描電鏡對(duì)納米粉體樣品可以進(jìn)行溶液分散制樣，也可以直接進(jìn)行干粉制樣，對(duì)樣品制備的要求比較低，但由于電鏡對(duì)樣品要求有一定的導(dǎo)電性能，因此，對(duì)于非導(dǎo)電性樣品需要進(jìn)行表面蒸鍍導(dǎo)電層如表面鍍金，蒸碳等。一般在10nm以下的樣品不能蒸金，因?yàn)轭w粒大小在8nm左右，會(huì)產(chǎn)生干擾，應(yīng)采取蒸碳方式。掃描電鏡有很大的掃描范圍，原則上從1nm到毫米量級(jí)均可以用掃描電鏡進(jìn)行粒度分析，而對(duì)于透射電鏡，由于需要電子束透過(guò)樣品，因此，適用的粒度分析范圍在1—300nm之間。對(duì)于電鏡法粒度分析還可以和電鏡的其它技術(shù)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)顆粒求成分和晶體結(jié)構(gòu)的測(cè)定，這是其它粒度分析法不能實(shí)現(xiàn)的。
2. 納米材料的形貌分析
2.1形貌分析的重要性
材料的形貌尤其是納米材料的形貌是材料分析的重要組成部分，材料的很多物理化學(xué)性能是由其形貌特征所決定的。對(duì)于納米材料，其性能不僅與材料顆粒大小還與材料的形貌有重要關(guān)系。因此，納米材料的形貌分析是納米材料的重要研究?jī)?nèi)容。形貌分析主要內(nèi)容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、顆粒的分布以及形貌微區(qū)的成分和物相結(jié)構(gòu)等方面。
2.2形貌分析的主要方法
納米材料常用的形貌分析方法主要有:掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)。掃描電鏡和透射電鏡形貌分析不僅可以分析納米粉體材料，還可分析塊體材料的形貌。其提供的信息主要有材料的幾何形貌、粉體的分散狀態(tài)、納米顆粒的大小、分布、特定形貌區(qū)域的元素組成和物相結(jié)構(gòu)。掃描電鏡分析可以提供從數(shù)納米到毫米范圍內(nèi)的形貌像，觀察視為大，其分辨率一般為6nm，對(duì)于場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其空間分辨率可以達(dá)到0.5nm量級(jí)。透射電鏡具有很高的空間分辨能力，特別適合粉體材料的分析。其特點(diǎn)是樣品使用量少，不僅可以獲得樣品的形貌、顆粒大小、分布，還可以獲得特定區(qū)域的元素組成及物相結(jié)構(gòu)信息。透射電鏡比較適合納米粉體樣品的形貌分析，但顆粒大小應(yīng)小于300 nm，否則電子束就不能穿透了。對(duì)塊體樣品的分析，透射電鏡一般需要對(duì)樣品需要進(jìn)行減薄處理。掃描隧道顯微鏡主要針對(duì)一些特殊導(dǎo)電固體樣品的形貌分析，可以達(dá)到原子量級(jí)的分辨率，僅適合具有導(dǎo)電性的薄膜材料的形貌分析和表面原子結(jié)構(gòu)分布分析，對(duì)納米粉體材料不能分析。掃描原子力顯微鏡可以對(duì)納米薄膜進(jìn)行形貌分析，分辨率可以達(dá)到幾十納米，比掃描隧道顯微鏡差，但適合導(dǎo)體和非導(dǎo)體樣品，不適合納米粉體的形貌分析。總之，這四種形貌分析方法各有特點(diǎn)，電鏡分析具有更多優(yōu)勢(shì)，但掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡具有可以氣氛下進(jìn)行原位形貌分析的特點(diǎn)。
人的眼睛的分辨本領(lǐng)為0.5mm左右。顯微鏡的分辨本領(lǐng)，可以用d=0.61λ/(nsinα)公式來(lái)表達(dá)，由此可見(jiàn)顯微鏡的分辨本領(lǐng)與光的波長(zhǎng)成正比。當(dāng)光的波長(zhǎng)越長(zhǎng)，其分辨率越低只有采用比較短的波長(zhǎng)的光線，才能獲得較高的放大倍數(shù)。比可見(jiàn)光波長(zhǎng)更短的波有紫外線、X射線和電子波。利用電子束作為提高顯微鏡分辨率的新光源，即電子顯微鏡。目前，電子顯微鏡的放大倍數(shù)已達(dá)到150萬(wàn)倍，這是光學(xué)顯微鏡所無(wú)法達(dá)到的。
電子透鏡不僅具有分辨本領(lǐng)大的特點(diǎn)，還具有景深大、焦距長(zhǎng)的特點(diǎn)。所謂景深是指在保持物像清晰度的前提下，試樣在物平面上下沿鏡軸可移動(dòng)的距離。換言之，在景深范圍內(nèi)，樣品位置的變化并不影響物像的清晰度。也可以認(rèn)為是試樣超越物平面所允許的厚度。所謂焦深是指在保持物像清晰的前提下，像平面沿鏡軸可移動(dòng)的距離，或者說(shuō)觀察屏或照相底板沿鏡軸所允許的移動(dòng)距離。在金相攝影中只要景深允許，可以使樣品表面凸凹不平的形貌在照片上都得到清晰的圖像。
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種常見(jiàn)的廣泛使用的表面形貌分析儀器。材料的表面的微觀形貌的高倍數(shù)照片是通過(guò)能量高度集中的電子掃描材料表面而產(chǎn)生的。
掃描電子顯微鏡之所以能放大很大的倍數(shù)，是因?yàn)榛倦娮邮梢约袙呙枰粋�(gè)非常小的區(qū)域（<10nm），在用小于1KeV能量的基本電子束掃描小于5nm的表面區(qū)域時(shí)，就能產(chǎn)生對(duì)微觀形貌較高的靈敏度。
掃描電子顯微鏡的原理與光學(xué)成像原理相近。主要利用電子束切換可見(jiàn)光，利用電磁透鏡代替光學(xué)透鏡的一種成像方式。
掃描電鏡的成像原理與光學(xué)顯微鏡不同，但和透射電鏡也不完全一樣。
掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是:有較高的放大倍數(shù)，20倍—20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào);有很大的景深，視野大，求成像富有立體咸，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡(jiǎn)單。日目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置。這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它像透射電鏡一樣是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器，分辨率是掃描電鏡的主要性能指標(biāo)。對(duì)微區(qū)成分分析而言，它是指能分析們的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)一之間的最小距離，分辨率大小由入射電子束直徑和調(diào)節(jié)信號(hào)類型共同決定。電子束直徑越小，分辨率越高。但由于成像信號(hào)不同，例如二次電子和背反射電子，在樣品表面的發(fā)射范圍也不同，從而影響其分辨率。
與透射電鏡景深分析一樣，掃描電鏡的景深也可表達(dá)為Df〉〉2△r0/α，式中α為電子束孔徑角�？梢�(jiàn)，電子束孔徑角是決定掃描電鏡景深的主要因素，它取決于末級(jí)逐透鏡的光闌直徑和工作距離。掃描電鏡的末級(jí)透鏡采用小孔徑角、長(zhǎng)焦距，所以可獲得很大卡景深，它比一般光學(xué)顯微鏡景深大100-500倍，比透射電鏡大10倍。由于景深大，掃描電鏡的圖像立體咸強(qiáng)，形態(tài)逼真。對(duì)于表面粗糙的斷口試樣來(lái)講，光學(xué)顯微鏡因景深小無(wú)能為力，透射電鏡對(duì)樣品要求苛刻，即使用復(fù)型樣品也難免出現(xiàn)假像，且景深也較掃描電鏡為小，因此用掃描電鏡觀察分析斷口試樣具有其它分析儀器無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn)。
3. 成分分析
3.1成分分析方法與范圍
納米材料的光、電、聲、熱、磁等理物性能與組成納米材料的化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)具有密切關(guān)系。因此，確定納米材料的元素組成，測(cè)定納米材料中雜質(zhì)的種類和濃度，是納米材料分析的重要內(nèi)容之一。
納米材料成分分析按照分析對(duì)象可分為微量樣品分析和痕量成分分析兩種類型。微量樣品分析是就取樣量而言。痕量成分分析則是就待測(cè)成分在納米材料中的含量而言，由于雜質(zhì)或摻雜的成分含量很低，在百萬(wàn)分之一甚至更低的濃度范圍，因此稱這類分析為痕量成分分析。
納米材料的成分分析方法按照分析的目的不同又分為體相元素成分分析、表面成分分析和微區(qū)成分分析等方法。
納米材料的體相元素組成及其雜質(zhì)成分的分析方法包括原子吸收、原子發(fā)射、ICP質(zhì)譜以及X射線熒光與衍射分析方法。其中前三種分析方法需要對(duì)樣品溶解后再進(jìn)行測(cè)定，因此屬于破壞性樣品分析方法，而X射線熒光與衍射分析方法可以直接對(duì)固體樣品進(jìn)行測(cè)定，因此又稱為非破壞性元素分析方法。
3.2X射線熒光光譜分析方法（XFS）是一種非破壞性的分析方法，可以對(duì)固體樣品進(jìn)行直接測(cè)定，因此在納米材料成分分析中具有較大的優(yōu)勢(shì)。X射線熒光的能量或波長(zhǎng)是特征性的，與元素有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。因此，只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)，就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外，熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)的元素含量有一定關(guān)系。據(jù)此，可進(jìn)行元素的定量分析。
納米材料的表面分析方法目前最常用的有X射線光電子能譜（XPS）分析方法、俄歇電子能譜（AES）分析方法、電子衍射分析方法和二次離子質(zhì)譜（SIMS）分析方法等。這些方法能夠?qū){米材料表面化學(xué)成分、分布狀態(tài)與價(jià)態(tài)、表面與界面的吸附與擴(kuò)散反應(yīng)的狀況等進(jìn)行測(cè)定，當(dāng)把能譜與電子探針技術(shù)與掃描或透射電鏡技術(shù)相結(jié)合時(shí)，還可對(duì)納米材料的微區(qū)成分進(jìn)行分析，因此在納米材料的成分分析特別是納米薄膜的微區(qū)成分分析中有廣泛的應(yīng)用。
3.3電子能譜分析方法主要包括X射線光電子能譜和俄歇電子能譜分析方法。兩種方法們的共同特點(diǎn)是基于材料表面被激發(fā)出來(lái)的電子所具有的特征能量分布（能譜）而對(duì)材料表面元素進(jìn)行分析的方法。兩者的主要區(qū)別是所采用的激光源不同，X射線光電子能譜用X射線作為激發(fā)源，而俄歇電子能譜則采用電子束作為激發(fā)源。
作為一種典型的表面分析方法，X射線光電子能譜法（XPS）能夠提供樣品表面的元素含量與形態(tài)，其信息深度約為3-5nm。俄歇電子能譜是利用電子槍所發(fā)射的電子束逐出的俄歇電子對(duì)材料表面進(jìn)行分析的方法，而且是一種靈敏度很高的分析方法，其信息深度為1.0--3.0nm，絕對(duì)靈敏度可達(dá)到10-3個(gè)單原子層，是一種很有用的分析方法。
3.4透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡已經(jīng)廣泛應(yīng)用于納米材料的形貌分析，當(dāng)人們對(duì)納米材料成像后所觀察到的某一個(gè)微區(qū)的元素成分有興趣時(shí)，可結(jié)合電子顯微鏡和能譜兩種方法共同對(duì)某一微區(qū)的情況進(jìn)行分析。此外，微區(qū)分析還能夠用于研究材料夾雜物、析出相、晶界偏析等微觀現(xiàn)象，因此十分有用。
4.納米材料的結(jié)構(gòu)分析
4.1.納米材料的結(jié)構(gòu)特征
根據(jù)納米材料結(jié)構(gòu)的不同，大體上可以把納米材料分為四類，即:納米結(jié)構(gòu)晶體或三維納米結(jié)構(gòu)(如等軸微晶);二維納來(lái)米結(jié)構(gòu)(如納米薄膜);一維納米結(jié)構(gòu)(如納米管);以及零維原子簇或簇組裝(如粒徑不大于2nm的納米粒子)。納米材料包括晶體、膺晶體、無(wú)定形金屬、陶瓷和化合物等。納米材料有以下性質(zhì)。
4.1.1. 小尺寸效應(yīng) 當(dāng)納米微粒尺寸與光波的波長(zhǎng)、傳導(dǎo)電子的德布羅意波長(zhǎng)以及超導(dǎo)態(tài)的相干長(zhǎng)度或穿透深度等物理特征尺寸相當(dāng)時(shí)，晶體周期性的邊界條件將被破壞，聲、光、力、電、熱、磁、內(nèi)壓、化學(xué)活性等與普通粒子相比均有很大變化，這就是納米粒子的小尺寸效應(yīng)(也稱體積效應(yīng))。
4.1.2. 表面與界面效應(yīng) 納米粒子由于尺寸小、表面積大、表面能高、位于表面的原子處于嚴(yán)重的缺位狀態(tài)，因此其活性極高，很不穩(wěn)定，遇到其它原子時(shí)很快結(jié)合，這種活性就是表面效應(yīng)。
4.1.3. 量子尺寸效應(yīng) 當(dāng)微晶尺寸與德布羅意波長(zhǎng)相當(dāng)時(shí)，粒子中的電子運(yùn)動(dòng)在三個(gè)方向上均受到限制，電子的連續(xù)能帶被分裂至接近分子軌道能級(jí)，納米粒子的聲、光、電、磁、熱以及超導(dǎo)電性與宏觀特性有很大的不同，稱為量子尺寸效應(yīng)。
4.1.4. 宏觀量子隧道效應(yīng) 隧道效應(yīng)是指微觀粒子具有貫穿勢(shì)壘的能力，后來(lái)人們發(fā)現(xiàn)一些宏觀量，如磁化強(qiáng)度、量子干涉器件中的磁通量也具有隧道效應(yīng)，稱之為宏觀量子隧道效應(yīng)。納米粒子具有與微觀粒子相似的能夠貫穿勢(shì)壘的隧道效應(yīng)，該效應(yīng)也被稱為宏觀量子隧道效應(yīng)。
材料的性質(zhì)與微觀結(jié)構(gòu)有密切關(guān)系。納米材料的這些特殊性質(zhì)與其結(jié)構(gòu)之間必然有著緊密的聯(lián)系。因此研究納米材料的微觀結(jié)構(gòu)是非常有意義的。納米材料主要是由納米晶粒和晶粒界面兩部分組成，兩者對(duì)納米材料性能有重要影響。有關(guān)納米晶粒內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)的研究表明，納米材料的微觀結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的晶體結(jié)構(gòu)基本一致，但是由于每個(gè)晶胞僅包含著有限的晶胞，晶格點(diǎn)陣必然會(huì)發(fā)生一定程度的彈性變形。
4.2物相結(jié)構(gòu)的亞微觀特征
人們已經(jīng)了解到，不僅納米材料的成分和形貌對(duì)其性能有重要影響，納米材料的物相結(jié)構(gòu)和晶體結(jié)構(gòu)對(duì)材料的性能也有重要的影響。因此，對(duì)納米材料的物相結(jié)構(gòu)分析也是材料分析的重要內(nèi)容之一。物相結(jié)構(gòu)分析的目的是為了精確表征以下的亞微觀特征：
4.2.1晶粒的尺寸、分布和形貌；
4.2.2.晶界和相界面的本質(zhì);
4.2.3晶體的完整性和晶間缺陷；
4.2.4跨晶粒和跨晶界的組成和分布；
4.2.5微晶及晶界中雜質(zhì)的剖析。
除此之外，分析的目的還在于測(cè)定納米材料的結(jié)構(gòu)特性，為解釋材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系提供實(shí)驗(yàn)依據(jù)。目前，常用的物相分析方法有X射線衍射分析、激光拉曼分析以及微區(qū)電子衍射分析等。
4.3.納米材料結(jié)構(gòu)分析新進(jìn)展
材料結(jié)構(gòu)表征的方法相當(dāng)多，適用于納米材料結(jié)構(gòu)分析的儀器也不止上面介紹的幾種，而且新的表征也不斷出現(xiàn)。如高分辨電子顯微鏡已經(jīng)能夠以原子級(jí)的分辨率顯示原子排列和化學(xué)成分，隧道掃描顯微鏡能夠測(cè)定材料表面和近表面原子排列和電子結(jié)構(gòu)，低能電子顯微鏡可用于顯示表面缺陷結(jié)構(gòu)等。
隨著分析儀器和技術(shù)的不斷發(fā)展，納米材料結(jié)構(gòu)研究所能夠采用的試驗(yàn)儀器越來(lái)越多，包括高分辨透射電鏡（HRTEM）、掃描探針顯微鏡（SPM）、掃描隧道顯微鏡（STM）、原子力顯微鏡（AFM）、場(chǎng)離子顯微鏡（FIM）、X射線衍射儀（XRD）、擴(kuò)展X射線吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)定儀（EXAFS）、穆斯堡爾譜儀（MS）、拉曼散射儀（RS）等等�？梢哉J(rèn)為，納米結(jié)構(gòu)的研究方法幾乎已經(jīng)涉及全部物質(zhì)結(jié)構(gòu)分析測(cè)試的儀器。
5．納米材料表面與界面分析
5.1納米材料表面與界面分析方法
固體材料的表面與界面分析已發(fā)展為納米薄膜材料研究的重要內(nèi)容，特別是對(duì)于固體材料的元素化學(xué)態(tài)分析、元素三維分布分析以及微區(qū)分析。目前，常用的表面和界面分析方法有：X射線光電子能譜（XPS）、俄歇電子能譜（AES）、靜態(tài)二次離子質(zhì)譜（SIMS）和離子散射譜（ISS）。其中XPS占了整個(gè)表面成分分析的50%，AES占了40%，SIMS占了8%。在這些表面與界面分析方法中，XPS的應(yīng)用范圍最廣，可以適合各種材料的分析，尤其適合材料化學(xué)狀態(tài)的分析，更適合于涉及到化學(xué)信息領(lǐng)域的研究。
目前，商用表面分析譜儀的高真空度可達(dá)10-10Torr左右。在X射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀中必須采用超高真空系統(tǒng)，主要是出于兩個(gè)方面的原因，首先，XPS和AES都是表面分析技術(shù)，如果分析室的真空度很差，在很短時(shí)間內(nèi)清潔表面可能被真空中的殘氣體所覆蓋。沒(méi)有超高真空條件不可能獲得真實(shí)的表面成分信息。
5. 2 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)的分析方法
5.2.1表面元素定性分析 這是一種最常規(guī)的分析方法，一般利用XPS譜儀的寬掃描程序。
5.2.2表面元素的半定量分析 首先應(yīng)當(dāng)明確的是XPS并不是一種很好的定量的分析方法。它給出的僅是一種半定量的結(jié)果，即相對(duì)含量而不是絕對(duì)含量。
5.2.3表面元素的化學(xué)價(jià)態(tài)分析表面元素化學(xué)價(jià)態(tài)分析是XPS的最重要的一種分析功能，也是XPS圖譜解析最難，比較容易發(fā)生錯(cuò)誤的部分。
5.3俄歇電子能譜分析
俄歇電子能譜法是一種最廣泛使用的分析方法，其優(yōu)點(diǎn)是：在靠近表面0.5-2年nm范圍內(nèi)化學(xué)分析的靈敏度高;數(shù)據(jù)分析速度快;俄歇電子能譜可以分析除氫氦以外的所有元素�，F(xiàn)已發(fā)展成為表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微區(qū)分析的重要手段。新型的俄歇電子能譜儀具有很強(qiáng)的做微區(qū)分析能力和三維分析能力，其微區(qū)分析直徑可以小到6nm，大大提高了在微電子技術(shù)和納米技術(shù)方面的分析能力。此外，俄歇電子能譜儀還具有很強(qiáng)的化學(xué)價(jià)態(tài)分析能力，不僅可以進(jìn)行元素化學(xué)成分分析，還可以進(jìn)行元素化學(xué)價(jià)態(tài)分析。俄歇電子能譜分析是目前最重要和最常用的表面分析和界面分析方法之一。由于具有很高的空間分辨能力(6nm)以及表面分析能力(0.5-2nm)，因此，俄歇電子能譜尤其適合于納米材料的表面和界面分析。俄歇電子能譜儀在納米材料尤其是納米器件的研究上具有廣闊的應(yīng)用前景。
俄歇電子能譜定性分析主要是利用俄歇電子的特征能量來(lái)確定固體表面的元素組成。由于俄歇電子的能量?jī)H與原子本身的軌道能級(jí)有關(guān)，與入射電子的能量無(wú)關(guān)，也就是說(shuō)與激發(fā)源無(wú)關(guān)。對(duì)于特定的元素及特定的俄歇躍遷過(guò)程，其俄歇電子的能量是特征的。由此，可以根據(jù)俄歇電子的動(dòng)能來(lái)定性分析樣品表面物質(zhì)元素的種類。由于每個(gè)元素會(huì)有多個(gè)俄歇峰，定性分析的準(zhǔn)確性很高。因此，AES技術(shù)是適用對(duì)所有元素進(jìn)行一次全分析的有效定性分析方法，這對(duì)于未知樣品的定性鑒定是非常有效的。
俄歇電子的強(qiáng)度不僅與原子序數(shù)有關(guān)，還與俄歇電子的逃逸深度、樣品的表面粗糙度、元素存在的化學(xué)狀態(tài)以及儀器的狀態(tài)有關(guān)。因此，AES技術(shù)一般不能給出所分析元素的絕對(duì)含量，僅能提供元素的相對(duì)含量。且因?yàn)樵氐撵`敏度因子不僅與元素種類有關(guān)，還與元素在樣品中存在狀態(tài)及儀器的狀態(tài)有關(guān)，即使是相對(duì)含量不經(jīng)校準(zhǔn)也存在很大的誤差。此外，還必須注意的是，雖然AES的絕對(duì)檢測(cè)靈敏度很高，可達(dá)到10-3原子單層，但它是一種表面靈敏度的分析方法，對(duì)于體相檢測(cè)靈敏度僅為0.1%左右。其表面采樣深度為1.0-3.0nm。
