中國粉體網(wǎng)訊  2025年4月16日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會”在河南鄭州成功舉辦！大會期間，中國粉體網(wǎng)邀請到多位業(yè)內(nèi)專家學(xué)者做客“對話”欄目，就高端研磨拋光材料與技術(shù)、研磨拋光裝備及應(yīng)用、行業(yè)未來發(fā)展等方面進行了訪談交流。本期，我們邀請到的是廣東惠爾特納米科技有限公司鐘榮峰經(jīng)理。

中國粉體網(wǎng)：鐘經(jīng)理您好，請從主營產(chǎn)品、企業(yè)規(guī)模以及研發(fā)實力三個方面介紹一下廣東惠爾特納米科技有限公司。

鐘經(jīng)理：廣東惠爾特納米科技有限公司主要致力于納米二氧化硅相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)，主營產(chǎn)品包括多種硅溶膠及延伸產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體拋光、鑄造、涂料、陶瓷拋光、催化劑等多個領(lǐng)域。這些納米二氧化硅產(chǎn)品具有粒徑均勻、分散性好等特點，能為下游產(chǎn)業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的原料支持。

公司擁有7個現(xiàn)代化的生產(chǎn)基地，占地面積達30萬平方米，產(chǎn)能達到每年20萬噸，配備了先進的生產(chǎn)設(shè)備與檢測儀器。目前企業(yè)員工總數(shù)約300人，其中涵蓋了生產(chǎn)、研發(fā)、銷售等各個專業(yè)領(lǐng)域的人才，形成了較為完善的企業(yè)運營體系。

公司高度重視研發(fā)創(chuàng)新，組建了一支由多位行業(yè)資深專家領(lǐng)銜的研發(fā)團隊，團隊成員有多名博士、碩士學(xué)歷人員。公司與多所知名高校和科研機構(gòu)建立了長期的產(chǎn)學(xué)研合作關(guān)系，不斷投入研發(fā)資金，近年來取得了多項專利技術(shù)與科研成果，在納米材料技術(shù)領(lǐng)域保持著較強的競爭力。

中國粉體網(wǎng)：請問相較于二氧化鈰、氧化鋁等傳統(tǒng)CMP磨料，納米二氧化硅在半導(dǎo)體拋光中的核心優(yōu)勢體現(xiàn)在哪些方面？

鐘經(jīng)理：我認為納米氧化硅在半導(dǎo)體拋光中的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾方面。

一是拋光精度更高，納米二氧化硅的粒徑可以精準控制在極小的范圍內(nèi)，能夠?qū)崿F(xiàn)對半導(dǎo)體表面更為精細的拋光處理，有效降低表面粗糙度，滿足半導(dǎo)體制造中日益嚴格的高精度要求；二是化學(xué)穩(wěn)定性好，相較于部分傳統(tǒng)CMP磨料，納米二氧化硅在拋光過程中的化學(xué)性質(zhì)更加穩(wěn)定，不易與半導(dǎo)體材料發(fā)生不必要的化學(xué)反應(yīng)，從而保證了半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量。

第三方面，納米二氧化硅分散性優(yōu)異，納米二氧化硅在拋光液中具有較好的分散性，能夠均勻地分布在拋光體系中，不易團聚。這有助于提高拋光的均勻性，減少表面劃痕和缺陷，獲得更光滑的拋光表面；第四是它具有低磨損性，納米二氧化硅硬度相對較低，在拋光過程中對被拋光材料的磨損較小，特別適用于一些軟質(zhì)材料或?qū)Ρ砻鎿p傷敏感的材料的拋光，能夠在實現(xiàn)拋光效果的同時，最大限度地減少對材料表面結(jié)構(gòu)和性能的影響。

五是環(huán)保性好，納米二氧化硅通常具有較好的生物相容性和環(huán)境友好性，在生產(chǎn)和使用過程中對環(huán)境的污染較小，符合現(xiàn)代工業(yè)對環(huán)保的要求；最后就是成本優(yōu)勢，隨著納米二氧化硅生產(chǎn)技術(shù)的不斷成熟，其生產(chǎn)成本逐漸降低。在保證拋光效果的前提下，使用納米二氧化硅可以有效降低半導(dǎo)體拋光的成本，提升企業(yè)的經(jīng)濟效益。

中國粉體網(wǎng)：鐘經(jīng)理，請問公司在納米二氧化硅的制備工藝中（如異形膠體、高純度膠體等）有哪些自主核心技術(shù)？

鐘經(jīng)理：我們公司可以提供特殊的反應(yīng)條件控制（如溫度、壓強、反應(yīng)時間等精準控制技術(shù)）、獨特的原料處理方法（例如對初始原料進行特殊的預(yù)處理以提高最終產(chǎn)品純度等）、創(chuàng)新的合成方法（像新的合成工藝路徑，在粒徑增長過程中加以干擾制備異型膠體）、先進的分離與提純技術(shù)（用于得到高純度膠體等產(chǎn)品）等方面。我們一直致力于相關(guān)技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新，以保障產(chǎn)品在市場上的競爭力。

中國粉體網(wǎng)：您覺得當前國產(chǎn)納米二氧化硅磨料在高端半導(dǎo)體領(lǐng)域面臨哪些技術(shù)瓶頸？惠爾特通過哪些研發(fā)策略實現(xiàn)進口替代？

鐘經(jīng)理：雖然國產(chǎn)納米二氧化硅磨料在顆粒尺寸和形貌控制方面取得了一定進展，但與國際先進水平相比，仍存在差距，需要進一步提高顆粒尺寸分布的窄度和集中度，以實現(xiàn)更精確的拋光效果。其次，高純度的納米二氧化硅是半導(dǎo)體制造中的重要材料，國產(chǎn)產(chǎn)品在純度方面仍需提升，特別是金屬雜質(zhì)的含量需要進一步降低。目前，國產(chǎn)納米二氧化硅的金屬雜質(zhì)含量≤400 ppb，而國際同類產(chǎn)品的標準通常更高。

再者，國產(chǎn)納米二氧化硅磨料的工藝穩(wěn)定性和批量生產(chǎn)的一致性仍需提高，需要建立更加穩(wěn)定的合成工藝，以確保每一批次的產(chǎn)品性能一致，滿足高端半導(dǎo)體制造的高標準要求。國產(chǎn)納米二氧化硅磨料在國際市場上仍面臨技術(shù)封鎖和市場競爭，特別是在高端半導(dǎo)體領(lǐng)域，國外企業(yè)憑借技術(shù)優(yōu)勢占據(jù)了主要市場份額，國產(chǎn)產(chǎn)品需要突破這些技術(shù)壁壘，才能在高端市場站穩(wěn)腳跟。

那么，對于產(chǎn)品進口替代方面，公司后期可能加大資金投入，建立先進的研發(fā)實驗室，購置高端研發(fā)設(shè)備，吸引優(yōu)秀科研人才，組建專業(yè)研發(fā)團隊。針對前面提到的國產(chǎn)技術(shù)瓶頸，如聚焦于提高磨料純度的提純技術(shù)研發(fā)，優(yōu)化粒徑控制技術(shù)以精準控制粒徑分布，研究更好的分散工藝解決分散性問題等。與高校、科研機構(gòu)合作，產(chǎn)學(xué)研結(jié)合，借助外部科研力量加速技術(shù)突破；也可能與半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)合作，深入了解實際生產(chǎn)需求，針對性研發(fā)。

中國粉體網(wǎng)：鐘經(jīng)理，近幾年，公司在新產(chǎn)品的開發(fā)方面有什么進展？

鐘經(jīng)理：公司致力于硅溶膠及其延伸產(chǎn)品的開發(fā)，包括不同穩(wěn)定劑（鈉、鉀、氨型硅溶膠），不同粒徑規(guī)格的產(chǎn)品。近年來，公司不斷增加研發(fā)投入，引進高端技術(shù)人才，先進科研檢測設(shè)備以及同多所高校、科研單位進行合作，在新產(chǎn)品、新技術(shù)上有著較大的進展。

在高純硅溶膠方面，通過原材料的管控，預(yù)處理以及分離提純技術(shù)，顯著降低雜質(zhì)含量，尤其金屬離子的含量，雖然和進口產(chǎn)品還有一定的差距，但相信我們通過不斷的努力一定會縮小這個差距。另外，不斷改進生產(chǎn)工藝，精確控制硅溶膠粒徑分布，制備單分散體系的硅溶膠，通過自動化半自動化的工藝控制，保證產(chǎn)品批次間的一致性。

其中，公司開發(fā)的SKP系列硅溶膠在涂料中顯著提升耐磨性和抗污性，用于特種紙涂層，可以增加紙張表面摩擦力，用于鑄造行業(yè)能顯著提高殼模的表面光潔度，減少鑄件表面缺陷，投入市場后得到客戶的廣泛認可。

中國粉體網(wǎng)：好的，感謝鐘經(jīng)理接受我們的采訪。