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?隨著我國(guó)科學(xué)技術(shù)和新型材料等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高純氣體作為保護(hù)氣在超大規(guī)模集成電路、激光材料、光導(dǎo)纖維、航空航天材料等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用。氧氣作為一種化學(xué)活性較強(qiáng)的物質(zhì),其含量是檢測(cè)高純氣體質(zhì)量的重要指標(biāo),所以控制和檢測(cè)氧氣含量的關(guān)鍵因素是高純氣體作為保護(hù)氣。 在我國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中,對(duì)高純氣體的質(zhì)量要求
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