壓電驅動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數百毫米范圍內實現亞納米級別的步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應用。

自主研發(fā)的壓電驅動納米位移臺，具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內工作等優(yōu)點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

線性壓電納米位移臺ML-37A，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時還兼具低溫真空等應用環(huán)境。是小空間內大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產品。支持定制納米位移臺。

產品優(yōu)勢

• 結構緊湊，高剛性

• 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)

• 室溫到液氦工作溫度，真空兼容

• 壓電陶瓷促進器具有使用壽命長

• 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制

產品應用

電子顯微鏡原位納米探針臺，半導體芯片檢測，光刻機工件臺，微生物操縱手，光纖焊接