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        等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD
        等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD

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        等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD

        品牌

        安徽澤攸

        產地

        安徽

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        暫無
        安徽澤攸科技有限公司

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          多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(CVD)是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術,主要借助微波或射頻的方法將目標氣體進行電離,促進化學反應在較低的溫度下進行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。

          目前項目團隊自主研發(fā)的CVD設備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導體表面)直接生長以石墨烯為代表的各類新型二維材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡單廉價,且具有傳統(tǒng)半導體生長工藝的兼容性。

          等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)技術參數

          應用案例

            CVD應用——Graphene在任意襯底上的無催化生長

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