參考價(jià)格
面議型號(hào)
立式爐品牌
電子科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無額定溫度:
-非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
其他溫控精度:
≤±1℃最高溫度:
1100℃看了立式爐的用戶又看了
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序號(hào) | 指標(biāo)名稱 | 主要技術(shù)指標(biāo) |
1 | 晶圓尺寸 | 8英寸 |
2 | **溫度 | 1100℃(石英) |
1250℃(碳化硅) | ||
3 | 控溫精度 | ≤±0.5℃ |
4 | 溫度均勻性 | ≤±1℃ |
5 | 升溫速率 | 0-10℃/min |
6 | **裝載量 | 170片 |
7 | 有效工作區(qū)域 | Φ230mm×780mm |
8 | 溫區(qū)數(shù)量 | 5 |
9 | 氣路數(shù)量 | 4 |
10 | 片內(nèi)均勻性(WIW) | ≤2% |
11 | 片間均勻性(WTW) | ≤2% |
12 | 批間均勻性(RTR) | ≤2% |
13 | 新增顆粒 | ≤50(≥0.16μm) ≤30(≥0.2μm) |
14 | 金屬污染 | <5E10 atms/cm2 |
暫無數(shù)據(jù)!