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臥式LPCVD品牌
電子科技產(chǎn)地
湖南樣本
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應(yīng)用于寬禁帶半導(dǎo)體器件、電力電子器件、光電子等行業(yè)氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制備;適用工藝有LPCVD。
溫度控制采用串級(jí)控制方式,對(duì)基片實(shí)際溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)智能控制;
裝載采用SiC懸臂槳,避免了與工藝管摩擦產(chǎn)生粉塵。
暫無數(shù)據(jù)!