中國(guó)粉體網(wǎng)訊 投資50億元,建設(shè)用地約1000畝的中國(guó)電科(山西)電子信息科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園即將在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)投產(chǎn)。據(jù)報(bào)道,該項(xiàng)目計(jì)劃用5年時(shí)間,建成“一中心三基地”,即:中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地、中國(guó)電科(山西)電子裝備智能制造產(chǎn)業(yè)基地、中國(guó)電科(山西)三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心、中國(guó)電科(山西)光伏新能源產(chǎn)業(yè)基地。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,預(yù)計(jì)形成產(chǎn)值100億元。
通過吸引上游企業(yè),形成產(chǎn)業(yè)聚集效應(yīng),打造電子裝備制造、三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈,建成國(guó)內(nèi)最大的碳化硅材料供應(yīng)基地,積極推動(dòng)山西經(jīng)濟(jì)的轉(zhuǎn)型升級(jí)。
大禁帶寬度、高臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高電子遷移率、高熱導(dǎo)率,是第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶材料最響亮的“名片”,不過,碳化硅單晶的制備一直是全球性難題,而高穩(wěn)定性的長(zhǎng)晶工藝技術(shù)是其核心。而在中國(guó),碳化硅單晶襯底材料長(zhǎng)期依賴進(jìn)口,其高昂的售價(jià)和不穩(wěn)定的供貨情況大大限制了國(guó)內(nèi)相關(guān)行業(yè)的發(fā)展。
據(jù)了解,自2007年,中國(guó)電科2所開始著手布局碳化硅單晶襯底材料的研制規(guī)劃,依靠自身在電子專用設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì),潛心鉆研著碳化硅單晶生長(zhǎng)爐的研制。經(jīng)過多年的不懈努力,全面掌握了高純碳化硅粉料制備工藝、4英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝,形成了從碳化硅粉料制備、晶體生長(zhǎng)、晶片加工、外延驗(yàn)證等整套碳化硅材料研制線,在國(guó)內(nèi)最早實(shí)現(xiàn)了高純碳化硅材料、高純半絕緣晶片量產(chǎn)。
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/三昧)
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