中國(guó)粉體網(wǎng)訊  2月28日上午，中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地舉行投產(chǎn)儀式。按照疫情防控相關(guān)要求，此次活動(dòng)以視頻方式舉行。

一場(chǎng)十余年的技術(shù)長(zhǎng)跑

由于大禁帶寬度、高臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高電子遷移率、高熱導(dǎo)率，碳化硅材料在眾多戰(zhàn)略行業(yè)具有重要的應(yīng)用價(jià)值和廣闊的應(yīng)用前景。

但是碳化硅單晶的制備一直是全球性難題，而高穩(wěn)定性的長(zhǎng)晶工藝技術(shù)是其核心。在中國(guó)，碳化硅單晶襯底材料長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，其高昂的售價(jià)和不穩(wěn)定的供貨情況大大限制了國(guó)內(nèi)相關(guān)行業(yè)的發(fā)展。

“沒有極具競(jìng)爭(zhēng)力的核心技術(shù)，一旦被國(guó)外采取措施，高科技行業(yè)就會(huì)‘休克’”。自2007年，中國(guó)電科2所便著手布局碳化硅單晶襯底材料的研制規(guī)劃，依靠自身在電子專用設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，潛心鉆研著碳化硅單晶生長(zhǎng)爐的研制。

經(jīng)過多年的不懈努力，全面掌握了高純碳化硅粉料制備工藝、4英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝，形成了從碳化硅粉料制備、晶體生長(zhǎng)、晶片加工、外延驗(yàn)證等整套碳化硅材料研制線，在國(guó)內(nèi)最早實(shí)現(xiàn)了高純碳化硅材料、高純半絕緣晶片量產(chǎn)。

第三代半導(dǎo)體碳化硅材料實(shí)現(xiàn)自主化

大禁帶寬度、高臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高電子遷移率、高熱導(dǎo)率，這是第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶材料最響亮的“名片”。

作為新一代雷達(dá)、衛(wèi)星通訊、高壓輸變電、軌道交通、電動(dòng)汽車、通訊基站等重要領(lǐng)域的核心材料，碳化硅單晶在航天、軍工、核能等極端環(huán)境應(yīng)用領(lǐng)域有著不可替代的優(yōu)勢(shì)。它彌補(bǔ)了第一、二代半導(dǎo)體材料在實(shí)際應(yīng)用中的缺陷，成為制作高溫、高頻、大功率、抗輻照、短波發(fā)光及光電集成器件的理想材料，并在眾多戰(zhàn)略行業(yè)具有重要的應(yīng)用價(jià)值和廣闊的應(yīng)用前景。

“我們的目標(biāo)是成為我們國(guó)家電子信息領(lǐng)域智能制造行業(yè)的排頭兵和國(guó)家隊(duì)�！敝袊�(guó)電科2所首席專家郎鵬如是說。

產(chǎn)業(yè)基地順利投產(chǎn)，疫情難擋揚(yáng)帆再起航

       山西省委書記、省人大常委會(huì)主任樓陽(yáng)生，省委副書記、省長(zhǎng)林武，省領(lǐng)導(dǎo)羅清宇、廉毅敏、王一新、李曉波，中國(guó)電科黨組書記、董事長(zhǎng)熊群力，黨組成員、副總經(jīng)理?xiàng)钴�，電科裝備黨委書記、董事長(zhǎng)左雷，黨委副書記、總經(jīng)理王斌等出席投產(chǎn)儀式。按照疫情防控相關(guān)要求，此次活動(dòng)以視頻方式舉行。

熊群力指出，中國(guó)電科(山西)電子信息科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園既是貫徹山西省委省政府“四為四高兩同步”總體部署要求的重大舉措，也是中國(guó)電科圍繞半導(dǎo)體材料、裝備制造產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域在晉的戰(zhàn)略布局，產(chǎn)業(yè)園的投產(chǎn)不僅是山西省新型半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展的標(biāo)志性事件，對(duì)國(guó)內(nèi)寬禁帶半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展也具有重要意義。

樓陽(yáng)生對(duì)中國(guó)電科一直以來對(duì)山西轉(zhuǎn)型發(fā)展的支持表示感謝，要求各級(jí)政府精準(zhǔn)服務(wù)，各部門主動(dòng)服務(wù)，綜改示范區(qū)全程服務(wù)，確保項(xiàng)目投產(chǎn)后早日達(dá)效。

樓陽(yáng)生強(qiáng)調(diào)，新冠肺炎疫情不可避免的對(duì)山西經(jīng)濟(jì)發(fā)展造成沖擊，但是宏觀經(jīng)濟(jì)長(zhǎng)期向好的基本面沒有改變，山西轉(zhuǎn)型綜改的強(qiáng)勁態(tài)勢(shì)沒有改變。要以此次活動(dòng)為標(biāo)志在全省上下進(jìn)一步掀起抓項(xiàng)目的熱潮。

據(jù)人民網(wǎng)報(bào)道，該項(xiàng)目計(jì)劃用5年時(shí)間，建成“一中心三基地”，即：中國(guó)電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地、中國(guó)電科(山西)電子裝備智能制造產(chǎn)業(yè)基地、中國(guó)電科（山西）三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心、中國(guó)電科（山西）光伏新能源產(chǎn)業(yè)基地。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)形成產(chǎn)值100億元。

參考來源

中國(guó)電科、與非網(wǎng)、全球半導(dǎo)體觀察、青島日?qǐng)?bào)