中國粉體網(wǎng)訊 日前,位于晉安湖“三創(chuàng)園”的福州高意首條第三代半導(dǎo)體碳化硅晶圓基片生產(chǎn)線進(jìn)入規(guī)模量產(chǎn),預(yù)計(jì)年產(chǎn)10萬片,產(chǎn)值可達(dá)5億元。該條碳化硅生產(chǎn)線量產(chǎn)后,第二條、第三條生產(chǎn)線也在加快建設(shè),到明年底,福州高意碳化硅基片產(chǎn)能有望突破50萬片,產(chǎn)值達(dá)30億元。
高意生產(chǎn)線,來源:今日晉安
據(jù)了解,高意是由II-VI公司所組建的光電業(yè)務(wù)集團(tuán),其總部位于中國福州市,也是II-VI公司的亞洲及中國總部所在地。II-VI公司總部位于美國賓夕法尼亞州的薩克森堡,是全球領(lǐng)先的工程材料和光電器件制造商,為工業(yè)、光通訊、生命科學(xué)、半導(dǎo)體設(shè)備和消費(fèi)電子等領(lǐng)域提供解決方案及相應(yīng)產(chǎn)品。
以碳和硅組成的化合物半導(dǎo)體碳化硅為材料制作的功率半導(dǎo)體器件,因其所具備的優(yōu)異性能與先進(jìn)性,多年來一直作為“理想的元器件”而備受矚目。SiC功率元器件現(xiàn)已逐漸成為我們現(xiàn)代日常生活中所普遍使用的“身邊的”元器件。從技術(shù)的角度來說,與硅基功率器件制作工藝不同,碳化硅器件不能直接制作在碳化硅單晶材料上,需要在導(dǎo)通型單晶襯底上額外生長高質(zhì)量的外延材料,所以對碳化硅功率器件來說,其上游襯底及外延制造是產(chǎn)業(yè)鏈上的兩大關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
縱觀整個(gè)碳化硅襯底產(chǎn)業(yè),美國占主導(dǎo)地位,Wolfspeed公司、II-VI公司占據(jù)了全球大部分市場份額,Wolfspeed公司占據(jù)領(lǐng)跑者的位置,最新消息顯示,其位于美國紐約州莫霍克谷的全球最大的8英寸碳化硅(SiC)制造工廠將于美國東部時(shí)間4月25日迎來盛大開業(yè)。II-VI公司排在全球第二,能夠提供 4 至 6 英寸導(dǎo)電型和半絕緣型晶片,并已成功研制 8 英寸導(dǎo)電型碳化硅晶片。同時(shí),II-VI還是一家全球領(lǐng)先的代工廠,在直徑為2英寸至6英寸的晶圓上生產(chǎn)高性能外延材料,用于關(guān)鍵的光子和射頻半導(dǎo)體元件。
圖片來源:II-VI官網(wǎng)
2021年以來,高意加快了在中國擴(kuò)產(chǎn)的步伐,以服務(wù)于全球最大的電動(dòng)汽車(EV)和清潔能源應(yīng)用市場。2021年4月15日,II-VI福州總部正式建立了用于SiC導(dǎo)電襯底的后段加工線。高意位于福州的新SiC工廠進(jìn)行的后端SiC晶圓加工包括邊緣研磨、化學(xué)機(jī)械拋光、清洗和檢測,所有加工都在100級(jí)和1000級(jí)潔凈室進(jìn)行。該工廠是高意已經(jīng)宣布的計(jì)劃的一部分,該計(jì)劃將在5年內(nèi)將其SiC基板的生產(chǎn)能力提高5到10倍,包括直徑200毫米的基板。
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)
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