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一體式垂直氣流碳化硅外延設(shè)備品牌
芯三代產(chǎn)地
江蘇樣本
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技術(shù)優(yōu)勢
設(shè)備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權(quán),具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術(shù),輔以全自動上下料(EFEM)系統(tǒng)和高溫傳盤等手段,實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標和性能,在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制、低缺陷率、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢。
工藝性能
暫無數(shù)據(jù)!