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技術(shù)優(yōu)勢

分體式將電源與尾氣模塊、PM/TM/EFEM模塊做了分體式設(shè)計，方便用戶將電源與尾氣模塊單獨放入灰區(qū)或夾層區(qū)域。并可配合SMIF模塊和天車聯(lián)動，實現(xiàn)全自動功能。

設(shè)備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場控制技術(shù)，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢。

工藝性能

設(shè)備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場控制技術(shù)，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢。設(shè)備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場控制技術(shù)，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢。