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原子氫源采用電子束加熱原理，產(chǎn)生的溫度可高達2，500oC。氫氣進入原子氫源，然后被裂解成原子H。由于其不會產(chǎn)生離子形態(tài)的氫，所以消除了損傷襯底表面的可能性，因此是用于襯底表面清潔的**工具。
緊湊SVTA-H1-1的接口是2.75’’（70mm）CF法蘭。另外還可以配轉(zhuǎn)換法蘭，使其適用于任何MBE設(shè)備。建議電源使用SVTA-H1-PS。此電源系統(tǒng)包括3個獨立電源：高壓電源用于提供偏壓；高電流電源用于燈絲加熱；控制器連接其他電源，用于控制輸出發(fā)射電流，此外，此電源還可以為測量和顯示束流供電。
電源 | 300W |
發(fā)射電流 | 100mA |
溫度 | 2，873K |
燈絲電流 | 15A |
管材料 | W， Mo |
電接插件 | 燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 高壓：SHV |
法蘭 | 2.75’’(70mm) 4.50’’(114mm)CF |
真空室內(nèi)長度 | 12’’ (或客戶定制) |
可選 | 水冷卻罩 |
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