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SVTA-VC-45 裂解源包括As、P、Sb、Te、Se、S等。
As裂解源用于生長(zhǎng)高質(zhì)量的III-V材料薄膜，擁有**的裂解效率和**的束流均一性。其獨(dú)特地設(shè)計(jì)在于兩個(gè)獨(dú)立的可控加熱區(qū)：體蒸發(fā)區(qū)和產(chǎn)生純AS2束流的裂解區(qū)。集成于體蒸發(fā)區(qū)及閥門的水冷卻套管可有效冷卻整個(gè)裂解源。
SVT銻裂解源可在超高真空環(huán)境下提供有效、可靠的超純銻束流。銻裂解源有3個(gè)獨(dú)立可控的加熱區(qū)，水冷卻覆蓋了體蒸發(fā)器、閥門、高純裂解管和PBN容器。標(biāo)準(zhǔn)配置的銻裂解源采用手動(dòng)控制針閥。計(jì)算機(jī)控制針閥裝置可選，用于遠(yuǎn)程控制束流。源在運(yùn)往客戶前都經(jīng)過(guò)測(cè)試和表征，包括SVT配件。
SVT磷裂解源可在超高真空環(huán)境下提供有效、可靠的超純磷束流。磷裂解源有3個(gè)獨(dú)立可控的加熱區(qū)并帶有熱隔離，實(shí)現(xiàn)紅磷與白磷之間的原位轉(zhuǎn)變以及重復(fù)蒸發(fā)。所有加熱器確保正常除氣。水冷卻可以促進(jìn)存儲(chǔ)容器里的材料凝結(jié)。全金屬的針閥操作期間可以快速調(diào)整束流。磷源在高溫裂解區(qū)裂解成P2束流。
為保證超純的操作環(huán)境，坩堝和裂解管都使用高純材料?？蛇x的計(jì)算機(jī)控制閥門（SVTA-VC-ACM）可以使拓展束流多樣性。它在生長(zhǎng)過(guò)程中精確、快速地控制閥門。閥門功能可以集成在RoboMBE軟件中。此閥門不但有助于材料生長(zhǎng)質(zhì)量和工藝重復(fù)性的提高，而且在生長(zhǎng)室充氣至大氣壓下添加其它源材料時(shí)，避免砷材料被氧化。
SVT公司提供200cc及500cc的容量。
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